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微细加工工艺方法主要包括激光加工、电子束加工、离子束加工、超精密磨削加工等。这些方法具有高精度、高效率和良好的加工质量等特点,广泛应用于航空航天、电子信息等领域中的微小零部件制造和加工。这些工艺方法能够实现对微小尺寸...